Der Boom der Halbleiterfertigung in Sachen Gaswarntechnik

Die zurzeit weltweit größten Halbleiterhersteller der Welt nach Umsatz Stand 2021:

Neue Gaswarnanlage: Honeywell Midas S2
  1. Samsung
  2. Intel
  3. TSMC
  4. SK Hynix
  5. Micron Technologies
  6. Qualcomm
  7. Nvidia
  8. Broadcom
  9. Mediatek
  10. Texas Instruments
  11. AMD
  12. Infineon
  13. Apple
  14. ST
  15. Kioxia

Quelle: IC Insights

Gaswarngeräte-Hersteller mit Lösungen

  • Honeywell, Midas
    Auszug Honeywell:
    Das Midas-Gasüberwachungssystem nutzt zuverlässige Sensortechnologie zur Messung der wichtigsten toxischen, brennbaren und Umgebungsgase, die in Industriebetrieben vorkommen können. Das Gerät überwacht Punkte in bis zu 30 Metern Entfernung und verwendet patentierte Technologie zur Regulierung von Strömungsraten, um eine fehlerfreie Gasüberwachung sicherzustellen. Honeywell verwendet modernste Robotertechnik, um eine erstklassige Qualität und Zuverlässigkeit des Midas-Gasüberwachungssystems zu gewährleisten.
    -Verbesserte Sichtbarkeit und Bedienfreundlichkeit. Das Midas
    Gasüberwachungssystem ist mit hellen LEDs und einer intuitiven, interaktive Oberfläche zur sofortigen Anzeige von Gasmesswerten oder Alarmgrenzwerten versehen. Die Menüs für Konfiguration, Test und Kalibrierung sind kennwortgeschützt.
    -Einfache Installation Dank der kompakten Bauform und des einfach zu handhabenden Metallgehäuses lässt sich das Midas Gaswarnsystem einfach installieren. Dies ist besonders wichtig in komplexen Prozessumgebungen, bei denen geringer Platzbedarf entscheidend ist.
    -Zahlreiche Einsatzgebiete. Mit vielfältigen und benutzerfreundlichen Funktionen eignet sich das Midas Gaswarnsystem für zahlreiche Industrieanwendungen wie die Halbleiterverarbeitung, Fertigung in der Leichtindustrie, Universitätslabore, Luft- und Raumfahrt, Abwasseraufbereitung und viele mehr.
  • Honeywell, Midas S2 (2023)
    Auszug Honeywell/Übersetzung Deppl:
    Der Midas S2 ist ein stationärer, extraktiver Ein-Punkt-Gastransmitter, der eine Probe lokal oder von einem entfernten Punkt zu einer Sensorpatrone zieht. Es ist eine breite Palette von Sensorkartuschen für toxische, brennbare und Sauerstoffgase erhältlich, um Gase zu erkennen, die in der Halbleiterfertigung, in leichten Fertigungsumgebungen und in nationalen und universitären Forschungslabors für die Halbleiterverarbeitung verwendet oder erzeugt werden.
    Klare Sichtbarkeit:
    Verbessertes Grafikdisplay für bessere Sichtbarkeit, Symbole für Gerätestatus, Überwachungspunkt und -ort sowie sofortige Warnmeldungen bei Gasmesswerten oder Alarmstufen. Kalibrierung abgeschlossen: Werkskalibrierte Sensoren reduzieren den Bedarf an häufigen Gastests.
    Verbesserte Wartungsfreundlichkeit:
    Einfacher Zugang zum Austausch des Sensors und der Pumpe von der Vorderseite des Geräts aus.
    Einfache Installation:
    Dank seiner kompakten Größe eignet sich der Midas S2 für beengte, komplexe Prozessumgebungen, in denen nur wenig Platz zur Verfügung steht, und ist dank seiner Plug-and-Play-Fähigkeit einfach zu installieren.
    PoE-Protokoll:
    Der Detektor verfügt über das innovative Power-over-Ethernet-Protokoll (PoE) – eine einzige Verbindung für alle Strom-, Steuerungs- und Kommunikationsanforderungen.
    Integrierte Sicherheit:
    Die Schnittstelle des Midas S2 umfasst passwortgeschützte Menüs, um die Systemintegrität zu gewährleisten.
  • Riken Keiki, GD-70
    Auszug Riken Keiki:
    Riken Keiki GD-70D – Intelligenter Gasdetektor
    Riken Keiki – GD-70D Intelligent Fixed Gas Monitor, Detects Hydride Gases, Toxics, Combustibles and Oxygen over 100 sensor options
    Das intelligente festinstallierte Gaswarnsystem GD-70D überzeugt durch herausragende Performance, Flexibilität und Vielseitigkeit. Der GD-70D verfügt über ein breites Spektrum an Sensortechnologien, die an der Spitze der Industrie stehen. Es gibt viele Optionen für Giftgase sowie Versionen spezifisch für Wasserstoff und UEG und viele andere Gase. Die Sensoren werden, wie bei RIKEN KEIKI üblich, alle selbst entwickelt und produziert.
    Sowohl die Pumpe als auch die Sensoren zeichnen sich durch Langlebigkeit und Leistungsfähigkeit aus. Überdies sind sie schnell und einfach zu ersetzen, ohne dass spezielles Werkzeug dafür erforderlich ist.

    Plug-and-Play-Smart-Sensoren:
    Die Smart-Sensoren speichern alle Kalibrations- und sensorspezifischen Daten in einem internen Datenspeicher. Dies erlaubt es den Anwendern, die Sensoren im laufenden Betrieb ohne langwieriges Programmieren auszutauschen. Darüber hinaus behalten die Sensoren auch ihre Kalibrierungsinformationen, können also auch separat vom Überwachungsgerät bequem kalibriert werden. Die Firmware des GD-70D korrigiert automatisch langfristige Nullpunktabweichungen, was Wartungsarbeiten minimiert und die Zuverlässigkeit maximiert.
    Der GD-70D kann als Stand-Alone-Gerät verwendet werden, verfügt aber auch eine Vielzahl von Kommunikationsprotokollen zur Verbindung mit bestehenden SPS-Systemen. Weiterhin lässt es sich mit Einzel- und Mehrkanal-Controllern vernetzen.

    Maximale Flexibilität:
    Das intelligente stationäre Gaswarnsystem GD-70D verfügt über ein großes, leicht lesbares LCD-Display. Es gibt eine dreifarbige Balkenanzeige, um den Alarmstatus visuell darzustellen, sowie programmierbare Alarmrelais und ein Störungsrelais. Die Pumpleistung besitzt eine eigene Regelung und stellt sich optimal auf die Anforderungen ein. Sie ist vollkommen wartungsfrei. Alle GD-70D-Basiseinheiten sind identisch. Da man als Anwender die Sensoren ohne Programmierung oder Werkzeug einfach austauschen kann, erreicht man maximale Flexibilität.
    Diese Gaswarngeräte erfreuen sich einer hohen Beliebtheit und werden in großer Zahl auf der ganzen Welt verwendet. Anwender profitieren hierbei von jahrelanger, störungsfreier Zuverlässigkeit.
    Der GD-70D zählt weltweit zu den Industriestandards in Halbleiterwerken und Fabriken, Laboratorien und Raumüberwachungen.
  • GfG, D-ReX (2023) Gaswarnanlage Halbleiter Industrie
    Auszug GfG:
    Ein System für jede Anforderung
    Das Das D-ReX ist ein Stand-alone-Gaswarngerät für eine Vielzahl unterschiedlicher Anwendungen. Die Diffusionsausführung überwacht Gase in der Umgebungsluft am Point-of-Use (PoU). Gase in schwer oder nicht zugänglichen Bereichen, selbst in Rohrleitungen, können mit einem abgesetzten Sensor kontrolliert werden, der bis zu 30 Meter vom Point-of-Installation (PoI) entfernt sein kann. Sollen Gase aus einem anderen Raum, aus einem Gaskabinett oder einem geschlossenen System – dem Point-of-Sampling (PoS) – angesaugt und in einer sicheren Umgebung überprüft werden, ist das D-ReX mit integrierter Pumpe die beste Wahl. Für Gase, die einen Pyrolyzer erfordern, wird das Py-ReX bald verfügbar sein.

    Gasüberwachung auf dem Stand der Technik
    Kommunikation und Stromversorgung über Power-over-Ethernet (PoE) sowie die optionale Unterstützung von LonWorks ermöglichen eine flexible Integration in bestehende Infrastrukturen. Alle Informationen zu gemessenen Gaskonzentrationen, Grenzwerten, Störungen und Alarmen werden auf dem Farbdisplay klar verständlich dargestellt.

    Smarte Sensoren und einfacher Service
    Elektrochemische, katalytische und Infrarotsensoren für mehr als 30 toxische, korrosive und brennbare Gase sowie Sauerstoff stehen zur Auswahl. Die Sensoren sind vorkonfiguriert und die Sensorkassetten lassen sich schnell und einfach wechseln – ganz ohne Werkzeug. Die App-Konnektivität via Bluetooth vereinfacht den Service. Ausfallzeiten sowie Kosten und Aufwand für Service werden dadurch minimiert.

    Optionen für mehr Sicherheit
    Für die Umsetzung von Sicherheitsmaßnahmen hat das D-ReX optional fünf interne Relais mit je einem Wechsler zur freien Programmierung. Für Anwendungen, die dies erfordern, lassen sich mit den Relaismodulen der GfG zusätzliche Relais ergänzen. Das GMA200-RT bietet 16 Relais mit Wechselkontakt und ist mit oder ohne Display und zur Hutschienen- oder Aufputzmontage verfügbar.

    Klar verständliche Informationen
    Das große TFT-Farbdisplay zeigt alle benötigten Informationen zum überwachten Gas, der gemessenen Konzentration, zum Zustand des Gaswarngeräts und etwaigen Störungen als Klartext, damit sie sofort erfasst werden können. Neben Deutsch und Englisch bietet das D-ReX Platz für bis zu 4 weitere Sprachen. Die Bedienung erfolgt per App und Bluetooth oder über das 5-Tasten-Interface neben dem Display.

    Kommunikation, wie sie benötigt wird
    Für modernste Gerätekonnektivität verfügt das D-ReX über eine PoE-fähige LAN-Schnittstelle mit 10/100 Mbit/s für schnelle und sichere Datenübertragung und die Möglichkeit, das D-ReX aus dem Netzwerk und dem Internet heraus zu adressieren. Alternativ sind wahlweise auch eine analoge Einbindung in eine 4-20 mA-Infrastruktur oder digitale Kommunikation über den bewährte RS-485-Industriestandard (Modbus) möglich.
    V
    Weiterführender Beitrag von uns…
  • DOD-Technologies bzw. KGB
    Auszug KGB (nein, nicht der russische Geheimdienst):
    DOD Technologies Inc. ist Hersteller von Gasmessgeräten die nach dem kolorimetrischen Prinzip arbeiten. Gaskonzentrationen von ppb bis ppm reichen aus, um Indikatorpapier zu verfärben. Je nach gewähltem Messgerät werden Intensität oder Farbe des Farbumschlags elektro-optisch ausgewertet und in eine Gaskonzentration umgerechnet. Anders als bei elektrochemischen Sensoren kann dabei zusätzlich zur Konzentration auch die Gasart sicher bestimmt werden. DOD Technologies Inc. hat sich in den letzten Jahren zu einem der weltweit größten Anbieter für Gasmesstechnik mit Kolorimetrie entwickelt. Durch die hohe Nachfrage auch in Europa wurde es notwendig, einen festen Partner innerhalb der Europäischen Gemeinschaft aufzubauen, die Kletschkus Gasmesstechnik Berlin GmbH, welche seit 2022/2023 aktiv am deutschen Markt tätig ist.
  • Zur Person hinter KGB
    Auszug aus der Homepage KGB:
    Der Unternehmensgründer Herr Dr. Karsten Kletschkus verfügt über eine rund 25jährige Erfahrung im Bereich der Gasmesstechnik und im Explosionsschutz.
    Über 13 Jahre war Dr. Karsten Kletschkus als Vertriebsingenieur und Projektleiter bei der Dräger Safety GmbH & Co KGaA im Bereich der stationären Gaswarntechnik beschäftigt. Dabei baute er umfangreiche Gaswarnanlagen für das verarbeitende Gewerbe, Universitäten und freie Institute sowie Verwaltungs- und Regierungsgebäude in Berlin und den Nord-Osten Deutschlands. Große Projekte in der Halbleiter- und Solarindustrie, in der Stahlerzeugung oder der chemischen Industrie wurden von ihm von der Planung am Schreibtisch über die bauliche Umsetzung bis zur Abnahme durch den Kunden umgesetzt.
    Anschließend sammelte Dr. Karsten Kletschkus Erfahrungen im elektrischen Explosionsschutz als Vertriebsingenieur bei der Cooper Crouse Hinds GmbH. In dieser Zeit betreute er hauptsächlich den elektrischen Anlagenbau für die Stahl- und chemische Industrie sowie die Erdöl- und Erdgasindustrie.
    In den folgenden Jahren war Dr. Karsten Kletschkus als Vertriebsingenieur und Anwendungsberater für Kalibriergasmischer und Kalibriergasgeneratoren bei den Herstellern Wösthoff Messtechnik GmbH und LNI Swissgas GmbH tätig. Dabei beriet er Hersteller von Gassensoren und Gasanalysetechnik bei der Verwendung von Gasmischern für die werksseitige Kalibrierung ihrer Sensoren. Auch Forschungseinrichtungen wie große nationale Institute oder Landesmessstellen zur Luftgüteüberwachung wurden von ihm bei der Anwendung von Gasmischern zur Kalibrierung und Justage von Analysegeräten betreut, ebenso wie die Automobil- und Heizindustrie, wenn es um die Kalibrierung ihrer Abgasanalysatoren ging. Im Zusammenhang mit seiner Tätigkeit bei der Wösthoff Messtechnik GmbH war Dr. Karsten Kletschkus Mitglied im DIN-Arbeitsausschuss für die DIN EN ISO 51 898 und ISO 6145-2.
    Seit 2021 steht Dr. Karsten Kletschkus mit dem US-amerikanischen Gaswarngerätehersteller DOD Technologies, Cary, Illinois in fester Partnerschaft. Bedingt durch die Reiseeinschränkungen während der CoVid-19 Hochzeit konnte die angestrebte Zusammenarbeit erst 2022 mit einer ausführlichen Schulung im Werk von DOD Technologies richtig begonnen werden. Seitdem steht Herr Dr. Karsten Kletschkus mit seiner Kletschkus Gasmesstechnik Berlin GmbH europäischen Nutzern von und Interessenten für DOD Mess- und Analysegeräten als Ansprechpartner für Schulungen, Verkauf und Service zur Verfügung.

Allgemein

Viele Jahre haben sich verschiedene Hersteller wie z. B. auch der Gaswarngeräte-Hersteller Dräger im Bereich der Lösungen für die Halbleiterindustrie „versucht“ und sich dann stückweise von diesem Markt zurückgezogen, was zum heutigen Händler KGB geführt hat.
Bis vor Kurzem gab es in Deutschland nur noch zwei Anbieter für den Gaswarngeräte-Bereich, die Firma Honeywell und Riken Keiki.
Riken Keiki war bis vor einigen Jahren noch durch den exklusiven Händler RKI (Herrn Schubert) in Deutschland vertreten. Da man seitens der Japaner mit der Markt-Entwicklung nicht zufrieden war, versucht man sich nun selber am deutschen Markt, mit der Erkenntnis, dass es nicht so leicht ist wie man sich dies in Japan sicherlich vorgestellt hat.

Gaswarnanlage Midas S2

Neues Honeywell Produkt Midas S2

Dies konnte Honeywell sicherlich für sich nutzen und seine Midas Gaswarnanlage für die Halbleiterbranche erfolgreich „vermarkten“. Zu diesem Produkt kam Honeywell im Jahre 1988 durch den Kauf der Firma MDA Scientific.
Da nun bereits einige Jahre seit der letzten Überarbeitung vergangen sind, veröffentlicht Honeywell in den nächsten Wochen seine neue überarbeitete Version Midas S2.
Auf der englischsprachigen Seite kann man dazu bereits entsprechende Unterlagen einsehen, auf deutsch ist aktuell noch nichts verfügbar.

Gaswarnanlage GfG D-ReX

Neuer Player in der Halbleiterbranche

Ein weiterer neuer „Player“ im deutschen Haltbleiter-Gaswarngeräte-Markt ist neben DOD Technologies (USA) in diesem Segment die Firma GfG aus Dortmund. Mit der neu entwickelten GfG-Gaswarnanlage D-ReX, in Verbindung mit der Übernahme des Sensorhersteller Sensorix, möchte man sich nun auch in der Halbleiterindustrie etablieren. Natürlich verfügt GfG wie auch KGB nicht über die jahrelange Erfahrung von Honeywell und Riken Keiki auf dem deutschen Markt.

Zusammengefasst

Kann man feststellen, dass es Riken Keiki schwer haben wird gegen drei neue Produkte in Sachen Gaswarntechnik für die Halbleiter-Branche von Honeywell, GfG und DOD Technologies.

Boom in der Halbleiter-Branche

Durch die Corona-Krise und den damit verbundenen Chip-Mangel gibt es nun diverse Förderungen der EU und von Deutschland, welche dazu führen, dass derzeit sehr viele Werke für die Halbleiterfertigung in Deutschland geplant und umgesetzt werden.

Baumaßnahmen in Deutschland (ohne Gewähr):

  • Wolfspeed im Saarland
  • Jenoptik, Dresden
  • TSMC, Dresden
  • Vishay, Itzehoe
  • Intel, Magdeburg
  • Infineon, verschiedene Standorte
  • Bosch, verschiedene Standorte
  • Usw.

Wie es in solchen „Boomphasen“ ist, werden hier sicherlich auch diverse Planungsfehler begangen, alleine schon, weil es bei einem solch plötzlich einsetzten Boom-Markt gar nicht genügend Experten für diese Planungen geben wird.

Gängige Fehler in Sachen Gaswarnanlage Halbleiterfertigung

Durch unsere Tätigkeiten bei Halbleiter Herstellern, wie auch Zulieferern, sind folgende Mängel oftmals anzutreffen:

  • Falsche Position von Messstellen vor Ort
  • Maximale Schlauchlänge der Absaugung nicht beachtet
  • Falsches Schlauchmaterial
  • Falsche Position der Gaswarneinheiten/Zentralen/Absaugstellen
  • Keine oder nur teilweise Gasflaschenschränke
  • Diverse Gasarten ohne Überwachung (einfach übersehen)
  • Wartungszyklen falsch
  • Wartungen durch Facilityfirmen ohne Nachweise
  • Unzureichende Serviceberichte, oder gar kein
  • Unzureichende Dokumentation
  • Einsatz von Produkten ohne Beachtung/Umsetzung der aktuellen Normen z. B. EN 45544
  • Fehlende Sicherheitsakte
  • Keine verbindliche Planung/Auslegung
  • usw. usw.

Fragen an alle welche gerade eine Gaswarnanlage für ein Halbleiterwerk planen:

Ist das ausgewählte Produkt nach EN 45544-2 geprüft?

Ist die Planung bzw. Auslegung durch einen Fachkundigen erfolgt?

Wurde eine „Sicherheitsakte“ erstellt?

Usw. usw.

Zusammengasst

Bei der Planung und dem Einsatz von Gaswarngeräten gibt es viele Fehlermöglichkeiten, welche man im Vorfeld reduzieren oder gänzlich vermeiden könnte und welche meist im Nachgang viel Geld kosten. Alleine schon der Einsatz von ausländischen Produkten birgt das Risiko, dass diese nicht den notwendigen EN-Normen entsprechen bzw. diese beachten und umsetzen.
Auch haben wir festgestellt, dass viele Fehler von einem Werk ins Nächste „übertragen“ werden, gemäß dem Motto „das haben wir schon immer so gemacht“. Solche Vorgänge gehen dann später so richtig ins Geld, spätestens nach der Prüfung eines Vorfalls, was es zu vermeiden gilt.

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